|
|
Автор: Курносов А.И., Юдин В.В.
Издательство: Высшая школа
Год издания: 1986
Количество страниц: 372
Язык: русский
Формат: DJVU
Размер: 4 Мб
Каталожный номер: 13584
|
В книге рассмотрены основные технологические процессы производства полупроводниковых приборов н интегральных микросхем. В 3-е издание (2-е — в 1979 г.) введены новые разделы, посвященные технологическим процессам радиационной обработки материалов и приборов, новейшим конструкциям корпусов интегральных микросхем, а также полупроводниковым материалам.
|
|