|
|
Автор: Миллер Д. (ред.)
Издательство: Радио и связь
Год издания: 1989
isbn: 5-256-00228-7
Количество страниц: 280
Язык: русский
Формат: DJVU
Размер: 6 Мб
Каталожный номер: 33303
|
Рассматриваются вопросы моделирования электрофизических характеристик приборов и технологических процессов, применяемых при их изготовлении. Большое внимание уделено используемым численным методам и описанию пакетов прикладных программ. Широко представлены результаты двумерного моделирования различных полупроводниковых приборов, а также процессов диффузии и окисления. Наряду с традиционной диффузионно-дрейфовой моделью в ряде работ для анализа характеристик приборов используются гидродинамическая модель и метод частиц. Основное внимание уделяется кремниевым приборам, но в ряде работ рассматриваются свойства, характерные для приборов на основе соединений А3В5. Кратко затрагиваются вопросы схемотехнического анализа, моделирования литографии, травления, осаждения, ионной имплантации, воздействия светового и ионизирующего излучений.
Ключевые теги: полупроводники, схемотехника, Электроника |
|