|
|
Автор: Герасименко Н.Н., Пархоменко Ю.Н.
Издательство: Техносфера
Год издания: 2007
isbn: 5-94836-101-2, 978-5-94836-101-7
Количество страниц: 352
Язык: русский
Формат: DJVU
Размер: 6 Мб
Каталожный номер: 41367
|
Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях. Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.
|
|