Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
	Категория: Технические науки » Электроника, радиотехника, связь
		Автор: Папков В.С., Цыбульников М.Б. Издательство: Энергия Год издания: 1979 Количество страниц: 88 Язык: русский Формат: PDF Размер: 37 Мб Каталожный номер: 84907	Рассматриваются вопросы получения гетероэпитаксиальных структур кремния на сапфире и шпинели и формирования на их основе интегральных схем. Изложены методы выращивания кристаллов сапфира и алюмомагниевой шпинели, а также методы подготовки диэлектрических подложек к гетероэпитаксии. Рассмотрены вопросы получения монокристаллических слоев кремния газотранспортными методами, особенности кристаллического строения и электрофизических свойств кремния на диэлектрических подложках. Книгу завершает материал о приборных разработках. Книга предназначена для широкого круга специалистов, работающих в области производства полупроводниковых приборов и материалов для микроэлектроники. Ключевые теги: Эпитаксиальные, кремниевые, слои, диэлектрических, подложках, приборы, основе, материал,
	Похожие публикации: Металлизация ультрабольших интегральных схем Технология полупроводникового кремния Диэлектрические резонаторы Фильтры СВЧ на диэлектрических резонаторах Твердотельная электроника Тонкопленочные солнечные элементы Синтез минералов. В 2-х томах. Т. 2 Твердотельные СВЧ фильтры Физика полупроводниковых приборов микроэлектроники Аналитическая химия кремния
	Ссылки на файлообменные сервера Размер архива в Mb http://забанен/files/get/--hS-fy_ui/epitaxial-silicon-layers-on-insulating-substrates-and-devices-based-on-them.rar 37 http://turbobit.net/mh0s1dhyqxih.html 37 http://www.bitoman.ru/download/160158.html 37 http://depositfiles.com/files/ixpoisnoj 37 http://letitbit.net/download/04589.0ae61418ea22d6dfe926acd5cea5/Epitaxial_silicon_layers_on_insulating_substrates_and_device 37
	Оцените эту публикацию!
	0 Опубликовал: Palladin | 27-09-2012, 01:35 | Просмотров: 695   Комментарии (0)  Печать