|
|
Автор: Данилин Б. С.
Издательство: Энерrия
Год издания: 1967
Количество страниц: 312
Язык: русский
Формат: DJVU
Размер: 5 Мб
Каталожный номер: 86253
|
В кииrе рассматриваются способы получения и обработки, а также методы измерения скорости напыления и толщины тонкопленочных слоев и основы области прнменения тонких пленок.
|
|